鍙�鍐嶇敓涓庡洖鏀跺埄鐢�

鈥滈敃閾滈摐閾滈摐鈥濈殑鍙�鍐嶇敓鍜屽洖鏀跺埄鐢ㄧ壒鎬э紝涓哄叾鍦ㄥ彲鎸佺画鍙戝睍鐨勬湭鏉ユ彁渚涗簡閲嶈�佹敮鎸併�傚湪鏉愭枡鐨勭敓鍛藉懆鏈熺�＄悊涓�锛岄�氳繃閫氳繃鍚堢悊鐨勫洖鏀跺拰鍐嶅埄鐢ㄦ妧鏈�锛屽彲浠ユ湁鏁堝噺灏戞潗鏂欑殑娴�璐瑰拰鐜�澧冩薄鏌擄紝鎻愰珮璧勬簮鐨勫埄鐢ㄦ晥鐜囥�傝繖绉嶅彲鍐嶇敓鎬х壒鎬э紝浣垮緱鈥滈敃閾滈摐閾滈摐鈥濆湪鐜�淇濆拰鍙�鎸佺画鍙戝睍鏂归潰鍏锋湁閲嶈�佺殑搴旂敤浠峰�笺��

閿曢摐鍦ㄥ�氫釜棰嗗煙鐨勫簲鐢ㄦ綔鍔涘法澶с�傚湪鐢靛瓙宸ヤ笟涓�锛岄敃閾滃洜鍏朵紭寮傜殑鐢靛�拣煋濈巼鍜岀儹瀵肩巼锛岃��骞挎硾鐢ㄤ簬楂樻�ц兘鐢靛瓙鍏冨櫒浠剁殑鍒堕�狅紝濡傞泦鎴愮數璺�銆佺數瀛愯繛鎺ュ櫒鍜岄珮棰戠數璺�鏉跨瓑銆傚湪鑸�绌鸿埅澶╅�嗗煙锛岄敃閾滅殑楂樺己搴﹀拰鑰愮儹鎬т娇鍏舵垚涓哄埗閫犻珮鎬ц兘鑸�绌洪浂閮ㄤ欢鐨勭悊鎯虫潗鏂欍�傚湪鑳芥簮棰嗗煙锛岄敃閾滃湪楂樻俯鐕冩枡鐢垫睜鍜屾牳鍙嶅簲鍫嗕腑鐨勫簲鐢�锛屽睍绀轰簡鍏跺湪楂樻俯鍜岄珮杈愬皠鐜�澧冧笅鐨勫崜瓒婅〃鐜般��

閿曢摐鍦ㄥ尰鐤楀櫒姊般�佸寲宸ヨ�惧�囸煋屽拰姹借溅宸ヤ笟涓�涔熻〃鐜板嚭鑹层�傚湪鍖荤枟鍣ㄦ�伴�嗗煙锛岄敃閾滅殑鐢熺墿鐩稿�规�у拰鎶楄厫铓�鎬т娇鍏舵垚涓哄埗閫犲�栫�戞�嶅叆鐗╁拰鍖荤枟璁惧�囩殑鐞嗘兂鏉愭枡銆傚湪鍖栧伐璁惧�囦腑锛岄敃閾滅殑鑰愯厫铓�鎬ц兘纭�淇濅簡璁惧�囧湪鑵愯殌鎬т粙璐ㄤ腑鐨勯暱鏈熺ǔ瀹氳繍琛屻�傚湪姹借溅宸ヤ笟涓�锛岄敃閾滅殑楂樺己搴﹀拰鑰愮儹鎬ц兘鏈夊姪浜庡埗閫犳洿杞汇�佹洿寮虹殑姹借溅闆堕儴浠讹紝鎻愰珮姹借溅鐨勷煍ユ�ц兘鍜屽畨鍏ㄦ�с��

閿曢摐鐨勭嫭鐗圭墿鐞嗗拰鍖栧�︾壒鎬э紝浣垮叾鍦ㄥ�氫釜楂樼�戞妧棰嗗煙涓�灞曠幇鍑哄箍娉涚殑搴旂敤娼滃姏銆傞殢鐫�绉戝�︽妧鏈�鐨勪笉鏂�杩涙�ワ紝閿曢摐鐨勫簲鐢ㄥ墠鏅�灏嗘洿鍔犲箍闃旓紝鍏跺湪鏈�鏉ョ殑鍙戝睍涓�灏嗘壆婕旇秺鏉ヨ秺閲嶈�佺殑瑙掕壊銆�

鍟嗕笟鍖栧墠鏅�

楂樻�ц兘鐢靛瓙鍏冧欢锛氬埄鐢ㄩ敃閾滈摐閾滈摐鏉愭枡鍒堕�犵殑鐢靛瓙鍏冧欢锛屽彲浠ユ樉钁楁彁楂樿�＄畻鏈恒�侀�氫俊璁惧�囧拰鍏朵粬鐢靛瓙浜у搧鐨勬�ц兘銆傝繖灏嗘帹鍔ㄧ數瀛愬伐涓氱殑鍙戝睍锛屽甫鏉ユ柊鐨勫競鍦烘満浼氥��

鍏堣繘鍒堕�犺�惧�囷細鍩轰簬閿曢摐閾滈摐閾滄潗鏂欑殑楂樻晥鑳藉埗閫犺�惧�囷紝鑳藉�熸樉钁楁彁楂樺伐涓氱敓浜х殑鏁堢巼鍜岃川閲忋�傝繖灏嗕负鍒堕�犱笟甯︽潵鎶�鏈�闈╂柊鍜屾垚鏈�鑺傜害銆�

鐜�澧冧繚鎶よ�惧�囷細閿曢摐閾滈摐閾滄潗鏂欑殑鑰愯厫铓�鎬у拰绋冲畾鎬т娇鍏跺湪鐜�澧冧繚鎶よ�惧�囦腑鏈夊箍娉涚殑搴旂敤鍓嶆櫙锛屼緥濡傛按澶勭悊鍜岀┖姘斿噣鍖栬�惧�囥��

鑳芥簮鎶�鏈�锛氬湪鑳芥簮棰嗗煙锛岄敃閾滈摐閾滈摐鏉愭枡鍙�浠ュ簲鐢ㄤ簬楂樻晥鑳界數姹犲拰澶�闃宠兘鐢垫睜绛夐�嗗煙锛屾帹鍔ㄦ柊鑳芥簮鎶�鏈�鐨勫彂灞曘��

鎴愭湰闂�棰橈細缁忔祹鍙�琛屾��

閿曢摐鐨勭敓浜ф垚鏈�杈冮珮锛岃繖鏄�鍏舵帹骞垮簲鐢ㄧ殑鍙︿竴涓�閲嶈�佹寫鎴樸�傞敃鍏冪礌鐨勫紑閲囧拰鎻愮函闇�瑕侀珮鎶�鏈�鍜岄珮鎶曞叆锛岃�岄摐鍏冪礌铏界劧鐩稿�瑰�规槗鑾峰緱锛屼絾鍦ㄩ珮绾�搴﹀拰楂樻�ц兘鏉愭枡鐨勫埗澶囦腑浠嶉渶澶ч噺鎶曞叆銆�

鎶�鏈�鍒涙柊锛氱�戝�﹀�朵滑姝ｅ湪閫氳繃鎶�鏈�鍒涙柊闄嶄綆閿曢摐鐨勭敓浜ф垚鏈�馃挕銆傝繖鍖呮嫭寮�鍙戞柊鐨勫悎鎴愭柟娉曞拰宸ヨ壓锛屼互鍙婃彁楂樻潗鏂欑殑鍒╃敤鏁堢巼銆�

甯傚満鎺ㄥ箍锛氶�氳繃甯傚満鎺ㄥ箍鍜屽ぇ瑙勬ā鐢熶骇锛岄敃閾滅殑鎴愭湰鍙�鑳戒細閫愭笎闄嶄綆銆傝繖闇�瑕佸伐涓氱晫鍜岀�戠爺鏈烘瀯鐨勷煍ュ叡鍚屽姫鍔涳紝浠ュ疄鐜板ぇ瑙勬ā鐢熶骇鍜屽簲鐢ㄣ��

鐢熺墿鍖诲��

閿曢摐鏉愭枡鍥犲叾浼樺紓鐨勬姉鑿屾�ц兘鍜岀敓鐗╃浉瀹规�э紝鍦ㄧ敓鐗╁尰瀛﹂�嗗煙鏈夌潃骞挎硾鐨勫簲鐢ㄣ�備緥濡傦紝鍙�浠ョ敤浜庡埗閫犲尰鐤楀櫒姊般�佹�嶅叆鐗┿�佽嵂鐗╀紶閫掔郴缁熺瓑锛屾彁楂樺尰鐤楄�惧�囩殑瀹夊叏鎬у拰鏁堟灉銆�

閿曢摐浣滀负涓�绉嶉珮鎬ц兘鐨勫悎閲戞潗鏂欙紝鍏锋湁澶氱�嶄紭寮傜殑鐗╃悊銆佸寲瀛﹀拰鏈烘�版�ц兘锛屽湪鐜颁唬宸ヤ笟涓�灞曠幇鍑哄箍娉涚殑搴旂敤鍓嶆櫙銆傞殢鐫�绉戞妧鐨勮繘姝ュ拰宸ヤ笟鐨勫彂灞曪紝閿曢摐鏉愭枡灏嗗湪鏇村�氶�嗗煙寰楀埌馃尭骞挎硾搴旂敤锛屼负鎺ㄥ姩鐜颁唬宸ヤ笟鐨勫彂灞曞仛鍑洪噸瑕佽础鐚�銆傚笇鏈涙湰鏂囪兘涓烘偍鎻愪緵鏈変环鍊肩殑淇℃伅锛岃�╂偍瀵归敃閾滄潗鏂欐湁鏇村叏闈㈢殑浜嗚В銆�

鍖荤枟鍣ㄦ��

閿曢摐鏉愨瓙鏂欑殑鐢熺墿鐩稿�规�у拰浼樺紓鐨勬満姊版�ц兘鍦ㄥ尰鐤楀櫒姊伴�嗗煙锛岄敃閾滄潗鏂欏睍鐜板嚭浜嗗法澶х殑娼滃姏銆傚叾浼樺紓鐨勮�愯厫铓�鎬у拰楂樺己搴︼紝浣垮叾鍦ㄥ埗閫犲尰鐤楀櫒姊板拰妞嶅叆鐗╂椂锛岃兘澶熺‘淇濊�惧�囩殑闀挎湡绋冲畾杩愯�屽拰鎮ｈ�呯殑瀹夊叏銆備緥濡傦紝閿曢摐鏉愭枡鍙�浠ョ敤浜庡埗閫犻珮绮惧害鐨勬墜鏈�鍣ㄦ�般�佹�嶅叆楠ㄧ�戝櫒姊颁互鍙婂叾浠栭渶瑕侀暱鏈熶娇鐢ㄤ笖瀵硅厫铓�鍜屽己搴﹁�佹眰鏋侀珮鐨勫尰鐤楄�惧�囥��

鍦ㄥ尰鐤楀櫒姊般�佸寲宸ヨ�惧�囧拰姹借溅宸ヤ笟绛夐�嗗煙锛岄敃閾滅殑搴旂敤鍓嶆櫙涔熼潪甯稿箍闃斻�傚湪鍖荤枟鍣ㄦ�颁腑锛岄敃閾滅殑鐢熺墿鐩稿�规�у拰鑰愯厫铓�鎬э紝灏嗘帹鍔ㄦ洿澶氶珮鎬ц兘鍖荤枟璁惧�囩殑寮�鍙戙�傚湪鍖栧伐璁惧�囦腑锛岄敃閾滅殑馃敟鑰愯厫铓�鎬ц兘灏嗚繘涓�姝ユ彁鍗囪�惧�囩殑浣跨敤瀵垮懡鍜屽彲闈犳�с�傚湪姹借溅宸ヤ笟涓�锛岄敃閾滅殑楂樺己搴﹀拰鑰愮儹鎬ц兘灏嗙户缁�娣卞叆鎺㈣�ㄩ敃閾滃湪鏈�鏉ョ殑鍙戝睍鏂瑰悜鍜屽垱鏂板簲鐢�锛屾垜浠�鍙�浠ョ湅鍒板叾鍦ㄥ�氫釜楂樼�戞妧棰嗗煙鐨勬綔鍔涘皢鎸佺画鎵╁睍锛屽苟甯︽潵鏇村�氱殑鎶�鏈�杩涙�ュ拰绀句細鏁堢泭銆�

鍦ㄦ櫤鑳藉埗閫犲拰楂樼簿搴﹀姞宸ラ�嗗煙锛岄敃閾滃皢鍙戞尌閲嶈�佷綔鐢ㄣ�傛櫤鑳藉埗閫犺�佹眰楂樼簿搴︺�侀珮鏁堢巼鍜岄珮璐ㄩ噺鐨勫埗閫犲伐鑹猴紝鑰岄敃閾滅殑楂樼函搴﹀拰浼樺紓鐨勬満姊版�ц兘锛屼娇鍏舵垚涓洪珮绮惧害鍔犲伐鍜屽井绾冲埗閫犵殑鐞嗘兂鏉愭枡銆傚湪鏈�鏉ワ紝閿曢摐灏嗗湪寰�鐢靛瓙鏈烘�扮郴缁燂紙MEMS锛夊拰绾崇背鎶�鏈�绛夐�嗗煙锛屽睍鐜板叾鍦ㄥ�嶆潅褰㈢姸鍜屽井灏忓昂瀵镐笅鐨勫崜瓒婅〃鐜般��

鏍″�癸細闄堟窇搴�(p6mu9CWFoIx7YFddy4eQTuEboRc9VR7b9b)